設備用途
       本檢測系統主要用于擴散后到電池片階段整個過程 PL 檢測，實現制程中缺陷 的檢出功能。采用相機對硅片進行 PL 缺陷檢測，結合客戶端現有設備實現剔除， 降低人工作業強度，減少缺陷片對后道工序的影響，輔助降低設備工序對產品的影響，提高生產效率及產能。

技術參數

兼容規格	兼容156到210（±0.5mm）140~250um
環境	5℃—40℃，30％—90％，無結露
供電	2KW，兩相電源，220V（±10%，-15%），50Hz
外觀尺寸	PL模塊250mmH×250mmW×500mmL
檢測方式	線掃描方式檢測硅片，無須停頓
產能節拍	單片小于0.8S，理論每小時產能＞4000